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                中微公司5nm半导体设备已获得台积电订单

                放大字体??缩小字体 发布日期:2020-04-20
                核心提示:除了大家都知道的光刻机,半导体设备生产中还需要各种设备,国内的中微半导体设备公司已经能够生产高端刻蚀设备,其5nm刻蚀机已
                       除了大家都知道的光刻机,半导体设备生产中还需要各种设备,国内的中微半导体设备公司已经能够生产高端刻蚀设备,其5nm刻蚀机已经批量生产,用于台积电的5nm生产线中。
                 
                  中微半导体上周末发布了2019年财报,全年实现营业收入19.47亿元,同比增长18.77%;实现归母净利润1.89亿元,同比增长107.51%。
                 
                  根据该公司年报,中微公司开发的高端刻蚀设备已运用在国际知名客户65纳米到7纳米的芯片生产线上。
                 
                  同时,公司根据先进集成电路厂商的需求,已开发出5纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工,并已获得行业知名客户的批量订单——虽然中微没有明说,但是这家客户就是台积电,也只有他们量产了5nm工艺。
                 
                  目前公司正在配合客户需求,开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺,能够涵盖5纳米以下刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。
                 
                  在3D闪存领域,中微半导体电容性等离子体刻蚀设备可应用于64层的量产,同时根据存储器厂商的需求正在开发新一代能够涵盖128层关键刻蚀应用以及相对应的极高深宽比的刻蚀设备和工艺。
                 
                  此外,中微公司的电感性等离子』刻蚀设备已在多个逻辑芯片和存储芯片厂商的生产线上量产。
                 
                  根据客户的技术发展需求,正在进行下一代产品的技术研发,以满足7纳米以下的逻辑芯片、1X纳米的DRAM芯片和128层以上的3D NAND芯片等产品的ICP刻蚀需求,并进行高产出的ICP刻蚀设备的研发。
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